高純氦氣在生產中的應用實例包括：用于半導體制造過程中的氣體保護，以防止氧化和污染；用于真空鍍膜，以提高鍍膜的質量和性能；用于光纖制造，以提高光纖的傳輸性能；用于激光器，以提高激光器的穩定性和精度；用于氣體激光器，以提高激光器的輸出功率和效率；用于，如MRI和CT，以提高設備的成像質量和精度；用于氣體分析，如氣體色譜分析，以提高分析的準確性和精度；用于氣體檢測，如氣體傳感器，以提高檢測的靈敏度和精度；用于氣體分離，如氣體膜分離，以提高分離的效率和精度；用于氣體儲存，如高壓氣體儲存，以提高儲存的安全性和可靠性。
高純氦氣的質量檢測通常通過質譜儀進行。質譜儀是一種能夠測量物質質量的設備，可以地測量出氦氣分子的質量。首先，將高純氦氣通過質譜儀的離子源，使其離子化。然后，離子通過磁場或電場進行分離，根據其質量的不同，離子在磁場或電場中的軌跡也會不同。，通過檢測器測量離子的數量，就可以得到氦氣分子的質量。通過多次測量，可以得到高純氦氣的質量分布，從而判斷其純度。
高純氬氣應存儲在的儲存罐中，并存放在陰涼、通風的庫房里。同時要注意遠離火種和熱源以防止出現火花或引起；也要嚴禁混入一些液體如石油類二或是等來除去系統的水分以免發生意外事故。此外由于儲存在壓力容器中的氣體因溫度變化而體積膨脹,為了消除安全隱患應在常溫下將氮氣的瓶壓機放空(但要有人看管),使高壓的氣體變成液態再接受使用時打開閥門即可安全方便的使用了.
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