半導體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：
1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。
半導體制造用氣體按照使用時的危險性分類：
1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
針對不同的場所怎么設定氧氣報警儀的報警值？首先看一下有關標準的規定。
1、 《電力行業缺氧危險作業監測與防護技術規范》DL/T1200-2013）
缺氧環境作業場所空氣中的氧含量低于19.5%的環境。6.4.1 氧含量。作業場所氧氣濃度應符合GB8958的要求，不得低于19.5%。
2 、《缺氧危險作業安全規程》（GB8958-2006）
缺氧作業場所空氣中的氧含量低于0.195的狀態。
3 、《深度冷凍法生產氧氣及相關氣體安全技術規程》（GB16912-2008）
進入冷箱檢修前，應切斷氣源，用空氣置換內部氣體，扒出檢修部位的保溫材料，經分析冷箱內氧含量在19.5%～23%范圍內，人員方可入內。
關于標準氣體的用途，大家應該都非常的了解了，它可以用在我們生活中的很多領域，并且發揮非常重要的作用，下面我們就來了解一下它的相關知識吧。
標準氣體是已知準確濃度的某種或某幾種待測物質的空氣或惰性氣體化合物。在空氣理化檢驗工作中，標準氣體廣泛用于空氣污染物的定性分析、定量分析和質量控制工作。評價分析方法的準確性、評價采樣方法的效率、校正分析儀器時都需要標準氣體。
靜態配氣法的特點是除高壓鋼瓶配氣法外，靜態配氣法具有設備簡單進，操作方便，標準物質和稀釋氣體的用量小等優點。
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