高純氣體是指在空氣中提取的氮、氧或氬等稀有氣體的總含量超過99.98％的氣體，主要用于電子工業和特種行業。例如：超大規模集成電路需要100多種元素的高純度混合物；在超高真空獲得和分析儀器中,則需要的干冰和高純CO2。
另外，在光導纖維的生產中也需特殊性質（如色散率小）及特定規格的高純潔凈度的氦-氖激光器所需的He、Ne混合高純惰性氣體?？傊?，由于這種充裝量一般很小(幾十到幾百毫升)，所以對于這類產品的生產還沒有形成規模效益的產品主要有氪、氙、六氟化硫、三氟甲烷以及一些含碳類化合物一氧化碳、二氧化碳和不飽和烴、丙二烯等產品。隨著科學技術的發展對各種氣體的用途越來越廣，用量越來越大有些品種的小數量已達不到分析的目的因此必須將它們集中起來加工處理后再分送到各使用點以滿足生產的需要
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