超高純氣體是一種非常特殊的工業級氣體制品，其純凈度遠超普通的氣體。這種高精度、高質量的特種工藝用惰性保護氣氛和氫等混合混合使用在電子元件和高精密部件制作業中廣泛地應用著,也廣泛應用于真空鍍膜技術中的輔助材料及還原劑以及原子能工程用的充示氮等等領域里邊
以稀有金屬為例：如氖-氪（NeKr）組合的四氟化錋(C6F14)為載體的四氯化鉑 (PtCl2),具有對金/銀微粒表面的吸附能力強優點；另外氦 He 氬 Ar 二氧化碳 CO2 等各種不同種類的特殊的高品位干燥空氣也被用作該類項目的抽空解吸提供必要的條件 。
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