高純氣體是指經過精密凈化處理，純度達到特定標準的氣體。高純氣體在現代工業和科學研究中有著廣泛的應用，其作用主要有以下幾個方面：
作為氣相沉積的反應氣體：高純氣體可以作為氣相沉積的反應氣體，用于制備各種薄膜、涂層等材料，廣泛應用于半導體、光伏、顯示器等領域。
作為氣體檢測的標準氣體：高純氣體可以作為氣體檢測的標準氣體，用于校準氣體檢測儀器，確保氣體檢測的準確性。
作為清潔氣體：高純氣體可以作為清潔氣體，用于清洗和凈化各種設備和工藝過程，提高設備和工藝過程的穩定性和可靠性。
作為實驗室氣體：高純氣體可以作為實驗室氣體，用于各種實驗和研究，如氣相色譜、質譜、光譜等。
總之，高純氣體在現代工業和科學研究中有著廣泛的應用，其作用主要是作為氣相沉積的反應氣體、氣體檢測的標準氣體、清潔氣體和實驗室氣體等。
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