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高純氣體的質量檢測主要依賴于的分析技術,如氣相色譜法、質譜法、紅外光譜法等。這些方法可以檢測氣體中的雜質含量,從而確定氣體的純度。例如,氣相色譜法可以檢測氣體中的有機和無機雜質,而質譜法可以檢測氣體中的離子和分子。此外,還可以通過測量氣體的壓力、溫度、濕度等參數來評估氣體的質量。
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