高純氣體在多個行業都有應用,其中為廣泛的是以下三個領域:
1. **電子工業**。在高新科技產業中,如微電子、光子集成電路等產品不斷追求更小、更快和更高密度的發展趨勢下,對氣體的純凈度要求愈來愈高,尤其是有機類大宗氣體(如 N2 、 Ar )更是條件之一 。此外 , 高純氫也主要用在外延片生產上 . 不同行業的具體需求存在差異 , 一般而言,越接近表面處理(鍍膜)的工序所用的氣體種類越多,純度和流量越高;而制成后期的封裝環節通常只需少量的載或零流的氣體即可滿足需要 ( 如內存條生產線). 在半導體制造工藝中的前道部分主要是以氮氣為主的高濃度特種標準混合氣的使用;尾端則是用于保護環境的清潔空氣/粗氧的使用.。
隨著國內潔凈室及配套設施工程的不斷發展以及國外設備的引進安裝到位.國產化率將不斷提高,這為該市場帶來了巨大的商機和潛力。
同時真空設備也需要各種不同的高純稀有氣體作為工作動力及工作環境氣氛氣氛控制介質。
另外還有激光技術所需的氦氖氣體也是其主要消費來源及其它一些特殊用途比如科研實驗分析檢測等等都是其重要組成部分的應用場景!
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