超高純氣體是指在空氣含量上，氧氣低于2.8%，氫氣在30Pa以下。其主要應用于電子、光學與食品工業制作領域 ，尤其是半導體行業不可缺少的原料 。主要用于各種高精度和高可靠性的電子產品中作為生 產和高質量的產品 測試材料 , 以保證元器件的高可靠性及成品板卡的無缺陷率 ; 的光電器件 、印刷電路版生產工藝中使用; 在激光技術中也用作光敏三管的曝光劑等；還可用于超深海潛水器的研究, 因為這些設備需要在高壓下工作且不會發生減壓病危險 ；同時它也廣泛應用于航天工程人造對地觀測系統中作關鍵性特種用途如： 用 于紅外/紫外探測管外腔中的保護氣氛等方面 .
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